파티클 카운터의 원리(Paticle Counter)
반도체나 의약품 등과 같은 첨단 생산공정을 갖추고 있는 분야는 작은 먼지에도 쉽게 오염돼 품질이 떨어질 수가 있습니다.
이에 따라 이런 제품들은 미세 먼지가 침투하지 못하는 깨끗한 공간에서 생산하기 위한 클린룸(clean room)이라는 청정공간을 필요로 합니다.

클린룸을 위한 필수장비, 파티클카운터= 먼지 한개도 허용하지 않는 청정공간을 만들기 위해 클린룸 내부환경은 각종 계측기에 의해 엄격하게 평가되고 관리됩니다.
이를 위해 대기 중의 먼지(파티클) 크기와 분포를 측정하는 기술이 함께 발달해야 하는 것입니다.
파티클카운터란 대기를 분석해 대기 중에 포함된 먼지의 크기와 개수를 측정하는 계측장비를 말합니다.

일반적인 파티클카운터에는 레이저 측정장비를 이용한 광산란식 측정법이 적용됩니다.
그 원리를 살펴보면 먼저 파티클카운터는 진공펌프 등을 이용해서 측정하고자 하는 공간의 대기를 모읍니다.
이렇게 모아진 공기는 관을 따라 이동해 먼지와 함께 파티클카운터 내부 레이저센서 앞을 지나게 된답니다.
레이저는 깨끗한 공기 중에서는 똑바로 직진을 하지만 먼지 등과 만나게 되면 입자가 산란하는 성질을 지니고 있습니다.
이런 원리로 산란 된 입자의 광량을 측정해 먼지의 크기를 알 수 있는 것이랍니다.
즉, 레이저의 산란 횟수로 먼지 개수를 알 수 있고 산란되는 광량으로 먼지의 크기를 확인하는 것입니다.

클라스(Class)의 정의
Clean Room 의 청정도는 미립자에 대해서는 미연방규격 209D를, 생물 입자는 미항공우주국(NASA) 규격이 사용됩니다.
Class 100 이란 공기 1ft³(28.4 ℓ) 에 포함된 입경 0.5㎛ 이상의 미립자가 100 개 이하, 세균은 0.1개 이하를 말합니다.
통상 대기중에는 0.5㎛이상의 미립자가 1ft³중에 300,000 ~ 3,000,000개 정도가 분포되어 있습니다.